本文標題："電子顯微鏡是根據不同原理的現象來構成襯度的"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2014-8-18 10:33:25

電子顯微鏡是根據不同原理的現象來構成襯度的

另一種是掃描電子顯微鏡((SEM)，它可以對樣品表面進行掃描.

透射電子顯微鏡可以有很高的分辨率(3~5埃左右)，而掃描電子

顯微鏡的分辨率只有100~200埃.可是，透射電子顯微鏡只能使用

薄得足以使電子束能明顯穿透過的試樣.所允許的實際厚度與材料

及所用的加

速電壓有關，但一般小于2000埃.因此，微電子學中所用的大多數

薄膜，即使它們不是附在較厚的基片上，對用透射電子顯微鏡觀察

而言也是太厚了.為此，塊狀的材料或較厚的薄膜必須減薄，或者，

假如只是對表面結構有興趣，則可以用足夠薄的膜來制作復型.

掃描電子顯微鏡是根據一些不同的現象來構成襯度的，所有

的測量都能在一個表面上進行.對于基本的材料研究，諸如尋找

沉淀物以及研究晶粒結構和位錯，透射電子顯微鏡是最適合的.對

于器件工藝的控制和失效分析，則掃描電子顯微鏡更為有用，它

可用作為光學顯微鏡的擴展，或用來檢側任何其它方法都不易辨別

的缺陷.

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