本文標題："微型的光學(xué)測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡"

發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間：2014-11-13 10:29:35

微型的光學(xué)測量或機械測量輪廓測量工具顯微鏡

在常用的超精密形狀測量法中，利用光干涉的面

形測量法運用的最多。干涉測量法的應(yīng)用前提是必

須要保證基準元器件的精度，但如何保證其精度是

現(xiàn)在面臨的主要問題之一。而且目前非球面形狀的

干涉測量法仍舊不成熟，這也是現(xiàn)在需要解決的關(guān)

鍵問題之一。鑒于干涉法對振動或環(huán)境的適應(yīng)很弱

的情況下，該測量方法更傾向于大型化的光學(xué)系統(tǒng)

測量，而不是傾向于微型的光學(xué)測量或機械測量。

與此相對應(yīng)的是，掃描測量方法可以實現(xiàn)球面或平

面，以及非球面等多種形狀的簡單在線測量。

一般的，在掃描測量法中，需先確定好嚴格的測

量基準，然后開始對對被測物體進行掃描，以此查

獲得被測量物的相對位置變化或相對角度等。根據(jù)

母性原理，掃描測量法和測量精度由以下兩個因素

決定：

（1）傳感器的檢測精度

（2）掃描基準的運動精度

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