本文標(biāo)題："TEM電子顯微鏡試樣的測(cè)量面積很小-斷口定量分析"
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TEM電子顯微鏡試樣的測(cè)量面積很小-斷口定量分析
TEM試樣的測(cè)量面積很小，取樣的代表性是需要考慮的一個(gè)
問(wèn)題，應(yīng)當(dāng)盡可能用低的放大倍數(shù)，并在許多部位上隨機(jī)選
擇測(cè)量區(qū)。
SEM試樣的放大倍數(shù)范圍較寬，其制樣方法和光學(xué)顯微鏡一
樣，有時(shí)為了增加圖像襯度而寧愿把樣品浸蝕得深 一些，
但是深浸蝕將增加測(cè)量誤差，如增加第二相的表觀尺寸、體積
分率以及第二相粒子的數(shù)量而減小它們之間的間距，其實(shí)
，對(duì)較新型的儀器為需要浸蝕深，在高倍觀察時(shí)，淺浸蝕可以
得到最好的精度，用SEM方法進(jìn)行定量測(cè)量時(shí)，應(yīng)當(dāng)盡量避免
樣品的傾斜，因?yàn)槟菚?huì)使分析復(fù)雜化。
斷口定量分析
大多數(shù)斷口表面不是平面，光學(xué)顯微鏡觀察有很大局限性，
現(xiàn)時(shí)主要用TEM復(fù)型和SEM觀察與分析斷口。
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