本文標題："懸浮顆粒分類微結構技術樣品檢測顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2017-6-13 22:47:27

懸浮顆粒分類微結構技術樣品檢測顯微鏡

環境包括：室溫、空氣濕度、空氣及所使用介質中的顆粒密度

，如果一個0．5μm的污染物顆粒落在集成電路的重要部分，即使

不導致電路的失效也會引起巨大的損壞。半導體技術、微結構技術

和潔凈室技術是相互分不開的概念。

一個低粒子濃度的環境是非常重要的，因此這就需要有一個恒

定的“污染空氣”與無顆粒空氣的交換。高質量的清潔室是在層流

下運行的，因為空氣的渦流增加了實驗室環境下顆粒的停留時間。

實際的潔凈室是由第二個封閉層即“灰室”(在此已調整好新鮮空

氣流的溫度和濕度)構成的殼型結構。添加的新鮮空氣通過過濾的

天花板到達潔凈室，然后以適當角度并以層流流向潔凈室地板，在

力的作用下通過地板，再通過氣道傳輸回位于天花板上面的氣體處

理室。在處理室內，一些化學加工產生的廢氣被直接提取并分離后

處理。循環的空氣與一定溫度和濕度的新鮮空氣混合后，再送回到

位于過濾天花板上面的壓力室。通過對過濾器的濾孔尺寸、空氣流

量和制造環境參數的控制，可以得到一個符合懸浮顆粒分類空氣質

量等級標準的環境

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