本文標題："掃描電容顯微鏡的應用-上海光學儀器廠"

發(fā)布者：yiyi ------ 分類: 行業(yè)動態(tài) ------ 人瀏覽過-----時間：2013-3-9 0:50:43

掃描電容顯微鏡的應用-上海光學儀器廠

掃描電容顯微技術(shù)是將一仟赫茲的AC 偏壓加在欲測半導體試片上或?qū)щ娞结樕希?/div>

使此二者之間產(chǎn)生電場，經(jīng)由電場的改變，探針下的自由載子可以改變成為帶正電荷或負電荷，而形成載子空乏或累積區(qū)域，

此現(xiàn)象可視為移動的電容板。

決定此電容板移動的距離之三個主要因素為施加電場的強度、導電探針與半導體間之介電層（通常為氧化層）的品質(zhì)與厚度、

及自由載子的濃度。自由載子可視為屏障或接收外加電場；當電場強度越大或自由載子濃度越低，

則表面空乏層就會越深。導電探針與半導體間之介電層的厚度越大，則通過的電壓降越大。簡而言之，

掃描電容顯微技術(shù)就是一種具平面解析度的C-V量測技術(shù)，藉由監(jiān)測外加AC波形偏壓變化下的電容變化值，而觀察與分析出載子濃度的多維動態(tài)影像。

tags:金相分析,金相顯微鏡,上海精密儀器,

掃描電容顯微鏡的應用-上海光學儀器廠,金相顯微鏡現(xiàn)貨供應

本頁地址：/gxnews/574.html轉(zhuǎn)載注明
本站地址：/
http://www.xianweijing.org/