本文標題："微機械的微零件輪廓測量工業顯微鏡"

發布者：yiyi ------ 分類: 行業動態 ------ 人瀏覽過-----時間：2013-8-26 5:20:8

微機械的微零件輪廓測量工業顯微鏡

微機電系統

(1)根據牛頓第二運動定律，力量等于質量和加速度的乘簀。在微機械的領域中，所應用零件質量都非常小，
對一固定的力量，其加速度會變得非常大。所以，從理論上看一極小的質量處于一微觀世界將會產生很多新的特性，
因而開創一個新的科技領域。

(2)微機械的觀念是從制造微電子電路而衍生出來的。而目前制造微電子、電路的技術已可制造微零件，
但在物理意義上，這些由硅芯片制成的微零件仍是屬于二次元。而微機械的微零件必需是三維零件，
所以應發展新的科技以制造所需之三維微零件。

(3)微細裝置的機械行為將是另一具挑戰性的領域。微觀世界之摩擦、應力、磨耗、變形、疲勞、潤滑?#31561;
機械持性將不同于巨觀世界。
(4)微細機械的微觀環境持性，可預期的將不同于巨觀的環境。當微機械小至原子間的距離時，
外下列環境因去將會影響它的行為：

微粒子或原子環境的碰撞。

氣體或液體的黏性變換環境因素。
電、磁場環境。

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